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書誌情報サマリ

書名

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合  普及版  (新材料・新素材シリーズ)

著者名 益一哉/監修 年吉洋/監修 町田克之/監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
請求記号 530/00090/


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210912044一般和書2階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 530/00090/
書名 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合  普及版  (新材料・新素材シリーズ)
並列書名 Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices:Basics and Applications
著者名 益一哉/監修   年吉洋/監修   町田克之/監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
ページ数 9,279p
大きさ 26cm
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
ISBN 978-4-7813-1364-1
分類 530
一般件名 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容紹介 微細化技術の追求とともに、新たな技術開発軸として期待される「異種機能集積」。基礎から応用技術まで、異種機能集積化技術を体系的に解説。種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術を紹介する。
タイトルコード 1001910001851

要旨 地図をベースに“みる・よむ・あるく”謎解き散歩のすすめ。「古地図で楽しむシリーズ」第6弾!ちょっとディープな歴史探索のお供に。
目次 1 描かれた尾張
2 尾張いまむかし(尾張東部
尾張西部
尾張北部
名古屋地域ほか
知多)
3 地図をつくる
著者情報 溝口 常俊
 1948年名古屋市生まれ。1979年名古屋大学大学院文学研究科博士課程単位取得退学。現在、名古屋大学名誉教授。専門は歴史地理学、地域環境史、南アジア地域論。博士(文学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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