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書名

Children's literature review　v. 235 　reviews, criticism, and commentary on books for children and yo... ＋ 続きを見る

著者名 Carol A. Schwartz, editor
出版者 Gale
出版年月 c2020
請求記号 90/00003/２３５

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210917605一般洋書児童書庫　禁帯出在庫 

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書誌詳細

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請求記号 90/00003/２３５
書名 Children's literature review　v. 235 　reviews, criticism, and commentary on books for children and young people 　(Gale literary criticism series)
著者名 Carol A. Schwartz, editor
出版者 Gale
出版年月 c2020
ページ数 xi, 251 p. : ill.
大きさ 29 cm
シリーズ名 Gale literary criticism series
ISBN 978-1-4103-8321-1
一般注記 "Produced in association with Layman Poupard Publishing"　Includes indexes
分類 909
一般件名 英語(ENG)
書誌種別 一般洋書
タイトルコード 1002010026204

要旨 ウェーハから半導体ファブ、前工程、後工程まで全てが豊富なイラストで手に取るようにわかる。
目次 第１章　半導体製造プロセスを理解する
第２章　前工程のプロセスフロー
第３章　洗浄・乾燥ウェットプロセス
第４章　イオン注入・熱処理プロセス
第５章　リソグラフィープロセス
第６章　エッチングプロセス
第７章　成膜プロセス
第８章　平坦化（ＣＭＰ）プロセス
第９章　後工程のプロセスフロー
第１０章　後工程の最新技術
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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