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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

ナノテクノロジーと超精密位置決め技術

著者名 大塚二郎／著
出版者 工業調査会
出版年月 2005.02
請求記号 532/00046/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0234635753一般和書２階開架自然・工学在庫 

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工作機械　自動制御　ナノテクノロジー

書誌詳細

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請求記号 532/00046/
書名 ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
著者名 大塚二郎／著
出版者 工業調査会
出版年月 2005.02
ページ数 189p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-2175-9
分類 532
一般件名 工作機械 　 自動制御 　 ナノテクノロジー
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009914079491

要旨 ナノテクノロジーを支援する、超精密位置決めの最新技術動向＆事例研究。分解能０．２ナノメートルの超精密位置決め装置を実現した著者が、高精度、高速度、コストダウンの各視点から徹底解説。
目次 第１章　超精密技術ナノテクノロジー（精密と超精密
アメリカの動き
日本の動き
「ナノテクノロジー」の由来
アメリカ流ナノテクノロジー
「精密位置決め」と「超精密位置決め」の認識値の変遷）
第２章　高精度化（誤差、精度、分解能の定義
位置決めの３方式
高精度化と高分解能化
粗微動方式
高精度化事例）
第３章　高速化（高速化の手段
振動対策
リニアモータの適否―特にボールねじと比較して
パラレルメカニズムについて
高速化事例）
第４章　技術革新とコストダウン（パレート線図による分析
コストダウンの方法
Ｃ（コスト：価格）を下げる方法
Ｆ（Ｆｕｎｃｔｉｏｎ：機能）を大きくする方法―リニアモータ駆動非球面加工機）
第５章　ナノテクノロジーのための超精密位置決め（Ｘ線顕微鏡の光学素子
ＤＮＡマニピュレータ　ほか）


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