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一般和書
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ぞうしょじょうほう

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しょしじょうほうサマリ

本のだいめい

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

書いた人の名前 表面技術協会／編
しゅっぱんしゃ コロナ社
しゅっぱんねんげつ 2013.5
本のきごう 566/00131/

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本のばしょ

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No. としょかん 本のばんごう 本のしゅるい 本のばしょ くわしいばしょ せいげん じょうたい
1 鶴舞0236220950一般和書２階開架自然・工学在庫 

かんれんしりょう

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しょししょうさい

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本のきごう 566/00131/
本のだいめい ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
書いた人の名前 表面技術協会／編
しゅっぱんしゃ コロナ社
しゅっぱんねんげつ 2013.5
ページすう 198p
おおきさ 21cm
ISBN 978-4-339-04631-1
ぶんるい 56678
いっぱんけんめい めっき
本のしゅるい 一般和書
ないようちゅうき 文献:p186〜195
ないようしょうかい ドライプロセスの基礎を学ぼうとする初学者のための入門書。ドライプロセスとプラズマに関する概要と歴史的発展過程から、真空とプラズマの基礎、代表的なドライプロセスの原理・原則、薄膜・表面評価分析技術までを解説する。
タイトルコード 1001310010640

もくじ １　ドライプロセスとプラズマ（表面処理
ドライプロセスと真空　ほか）
２　真空およびプラズマ（真空
プラズマ　ほか）
３　ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成（真空蒸着
イオンプレーティング　ほか）
４　分析と評価（膜厚測定
表面分析　ほか）


ないよう細目表：

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