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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

千葉県立中央図書館年報　昭和57年度

著者名 千葉県立中央図書館／編
出版者 千葉県立中央図書館
出版年月 1983
請求記号 N016-2/00209/８２

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0131330474一般和書２階書庫　禁帯出在庫 

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千葉県立中央図書館

書誌詳細

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請求記号 N016-2/00209/８２
書名 千葉県立中央図書館年報　昭和57年度
著者名 千葉県立中央図書館／編
出版者 千葉県立中央図書館
出版年月 1983
ページ数 40p
大きさ 26cm
分類 0162135
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009610116936

要旨 半導体の微細加工技術を利用して、数μｍという超小型の機械部品やモーターなどを、シリコン基板上に製作することが可能になった。本書は、ミクロンレベルからナノ領域にいたる微小機械についてのさまざまな技術展開と可能性を示す。
目次 第１章　マイクロ・ナノ機械の発展の歴史
第２章　マイクロ・ナノ機械の特徴と利点
第３章　マイクロ・ナノ機械の応用分野
第４章　光技術への応用
第５章　バイオ・化学分野への応用
第６章　マイクロ・ナノマシーニング（製作技術）
第７章　マイクロアクチュエータ


内容細目表：

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