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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

マイクロマシン技術総覧　ナノテクノロジーの基盤技術

著者名 マイクロマシン技術総覧編集委員会／編集
出版者 産業技術サービスセンター
出版年月 2003.01
請求記号 530/00026/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210570800一般和書２階開架自然･参考禁帯出在庫 

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書誌詳細

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請求記号 530/00026/
書名 マイクロマシン技術総覧　ナノテクノロジーの基盤技術
著者名 マイクロマシン技術総覧編集委員会／編集
出版者 産業技術サービスセンター
出版年月 2003.01
ページ数 753,6p
大きさ 27cm
ISBN 4-915957-40-3
一般注記 編集長:樋口俊郎
分類 53036
一般件名 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009912078219

目次 総論　マイクロテクノロジーへの展開
第１編　基礎編（マイクロ理工学
マイクロ材料）
第２編　微細加工技術（機械加工
マイクロ電気加工・ビーム加工
エッチング
ＰＶＤ、ＣＶＤ
ＬＩＧＡプロセス
マイクロ光造形）
第３編　マイクロマシンの要素（総論―ナノ・マイクロマシンを設計する
マイクロメカニズム
マイクロアクチュエータ
マイクロマニピュレーション
マイクロ計測）
第４編　マイクロマシン応用例（マイクロアクチュエータの応用
マイクロ要素・デバイス
マイクロセンサデバイス
マイクロシステム
その他）


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