蔵書情報
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書誌情報サマリ
書名 |
性格 素質とのたたかい (中公新書)
|
著者名 |
相場均/著
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出版者 |
中央公論社
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出版年月 |
1963 |
請求記号 |
SN141/00065/ |
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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
資料種別 |
配架場所 |
別置 |
帯出 |
状態 |
1 |
鶴舞 | 2011849276 | 6版和書 | 2階書庫 | | 禁帯出 | 在庫 |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
請求記号 |
SN141/00065/ |
書名 |
性格 素質とのたたかい (中公新書) |
著者名 |
相場均/著
|
出版者 |
中央公論社
|
出版年月 |
1963 |
ページ数 |
185,11p |
大きさ |
18cm |
シリーズ名 |
中公新書 |
シリーズ巻次 |
14 |
ISBN |
4-12-100014-5 |
分類 |
14193
|
一般件名 |
性格
|
書誌種別 |
6版和書 |
タイトルコード |
1001110104673 |
要旨 |
本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。 |
目次 |
第1章 真空の基礎 第2章 真空用部品 第3章 真空用構成材料 第4章 熱 第5章 低温 第6章 プラズマ・イオンビーム 第7章 表面分析 第8章 薄膜・表面加工 第9章 応用 |
内容細目表:
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