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書誌情報サマリ

書名

真空技術ハンドブック

著者名 金持徹／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1990
請求記号 N534-9/00188/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210244729一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 N534-9/00188/
書名 真空技術ハンドブック
著者名 金持徹／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1990
ページ数 826p
大きさ 22cm
ISBN 4-526-02677-8
分類 53493
一般件名 真空技術-便覧
書誌種別 一般和書
内容注記 各章末:参考文献
タイトルコード 1009410090749

目次 第１章　真空の科学（真空の特徴
気体の考え方
気体分子運動論
気体分子運動論から導かれる諸関係）
第２章　真空システム（コンダクタンス
実効排気速度と到達圧力
排気系設計のポイント
超高真空システムの極高真空システム
真空部品
真空材料
極高真空装置用の材料とガス放出）
第３章　真空ポンプ（真空ポンプの現状と開発動向
油回転ポンプ
ルーツポンプ
ドライ真空ポンプ
油拡散ポンプ
ターボ分子ポンプ
クライオポンプ
スパッタイオンポンプ
チタンサブリメーションポンプ）
第４章　真空計測（全圧計・分圧計の種類と利用法
熱伝導真空計
電離真空計
スピニングローター真空計
隔膜真空計
全圧計の校正
極高真空全圧計とその校正
四極子マスフィルタ）
第５章　真空装置の管理（真空装置のトラブルとその対策
各種の真空装置における洩れ探し
ヘリウムリークデテクタとその使用技術
真空装置の汚染に関するトラブル）
第６章　真空を利用した薄膜製造装置（真空蒸着法
分子線エピタキシー
スパッタ法
イオンプレーティングとその応用技術
イオンビームによる薄膜形成
ドライエッチング技術
ＣＶＤ法）
第７章　真空を利用した薄膜製造技術（薄膜製造における真空技術
酸化物超伝導体と薄膜化技術
薄膜センサ
セラミックス膜
ダイヤモンド薄膜）
第８章　真空利用装置と利用技術（電子顕微鏡における真空技術
表面分析技術における真空技術
真空断熱技術
スペースチャンバ
大型加速器における真空技術
最近の真空利用）
第９章　規格等


内容細目表：

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