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書名

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用　MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 　普及版 　(新材料・新素材シリーズ)

著者名 益一哉／監修 年吉洋／監修 町田克之／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
請求記号 530/00090/

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請求記号 530/00090/
書名 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用　MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 　普及版 　(新材料・新素材シリーズ)
並列書名 Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices:Basics and Applications
著者名 益一哉／監修 　 年吉洋／監修 　 町田克之／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
ページ数 9,279p
大きさ 26cm
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
ISBN 978-4-7813-1364-1
分類 530
一般件名 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容紹介 微細化技術の追求とともに、新たな技術開発軸として期待される「異種機能集積」。基礎から応用技術まで、異種機能集積化技術を体系的に解説。種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術を紹介する。
タイトルコード 1001910001851

目次 第１編　総論編
第２編　プロセス技術編
第３編　回路・デバイス設計技術編
第４編　ＮＥＭＳ技術編
第５編　センサ技術編
第６編　ＲＦ‐ＭＥＭＳ技術編
第７編　エネルギーハーベスト技術編
第８編　実装技術編
第９編　解析・評価技術編


内容細目表：

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