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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

ホワイトバイオテクノロジー;エネルギー・材料の最前線　普及版 　(地球環境シリーズ)

著者名 木村良晴／監修 小原仁実／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2014.12
請求記号 5799/00101/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0236581419一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5799/00101/
書名 ホワイトバイオテクノロジー;エネルギー・材料の最前線　普及版 　(地球環境シリーズ)
並列書名 White Biotechnology;The Front of Energy and Material Development
著者名 木村良晴／監修 　 小原仁実／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2014.12
ページ数 8,289p
大きさ 26cm
シリーズ名 地球環境シリーズ
ISBN 978-4-7813-0912-5
分類 57997
一般件名 応用微生物学 　 バイオマス
書誌種別 一般和書
内容紹介 地球環境の保全が可能なだけでなく、今世紀の主軸になる産業形態と考えられているホワイトバイオテクノロジー。各界の専門家がその考え方と国内外の動向を解説し、化学材料、エネルギー製造方法を詳述する。
タイトルコード 1001410078768

要旨 プロセスフローを例にして基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。
目次 リソグラフィ技術とは引き算のプロセス？
光リソグラフィの発展
露光技術と装置
レジスト材料
レジスト塗布と現像
マスクとリソグラフィ技術
ＥＵＶリソグラフィ
リソグラフィの計測技術
多彩なパターニング技術
ＣＭＯＳロジックプロセス（フロントエンド）
ａ−Ｓｉ　ＴＦＴプロセス
ａ−Ｓｉ太陽電池プロセス
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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