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書誌情報サマリ

書名

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合  普及版  (新材料・新素材シリーズ)

著者名 益一哉/監修 年吉洋/監修 町田克之/監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
請求記号 530/00090/


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210912044一般和書2階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 530/00090/
書名 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合  普及版  (新材料・新素材シリーズ)
並列書名 Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices:Basics and Applications
著者名 益一哉/監修   年吉洋/監修   町田克之/監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
ページ数 9,279p
大きさ 26cm
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
ISBN 978-4-7813-1364-1
分類 530
一般件名 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容紹介 微細化技術の追求とともに、新たな技術開発軸として期待される「異種機能集積」。基礎から応用技術まで、異種機能集積化技術を体系的に解説。種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術を紹介する。
タイトルコード 1001910001851

要旨 古代遺跡探訪に美術鑑賞と絵画修業。鉱物採取と植物観察、そしてローマのカーニバル観賞…。芸術家にして自然研究者であるゲーテが若々しいヴァイタリティとみずみずしい感性で綴ったこの作品は「永遠の青春のひと」という言葉にふさわしい文豪の青春の記録である。
目次 第二次ローマ滞在 一七八七年六月より一七八八年四月まで(通信
前書き
ティッシュバインからゲーテへ
補遺
報告
自然観察で行き悩む
語源学者としてのモーリッツ
ユーモアのある聖者フィリポ・ネーリ
フィリポ・ネーリのクレメンス八世宛の請願書
請願書を受けて書かれた教皇自筆の決議文 ほか)


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