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書誌情報サマリ

書名

MEMSデバイス徹底入門 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ

著者名 三田吉郎/著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2018.8
請求記号 530/00089/


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0237431960一般和書2階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 530/00089/
書名 MEMSデバイス徹底入門 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ
著者名 三田吉郎/著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2018.8
ページ数 6,188p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-526-07871-2
分類 530
一般件名 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容紹介 現実世界と情報世界を仲立ちする、情報処理回路の入出力の要「MEMSデバイス」。MEMSはどう使え、どう動き、どう作るのか、関連するスキルと知識を、豊富な実験例と平易な文章で解説する。
タイトルコード 1001810047160

要旨 これは、ただの解説本ではない!豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊!
目次 第1章 MEMSを“つかう”(電子情報機器の用途―どこでもMEMSの時代
電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路
百聞は一見に如かず1―秋葉原で買ったMEMS大集合 ほか)
第2章 MEMSを“わかる”(百聞は一見に如かず2―ばね+マス=MEMS構造を理解する
MEMSが加速度を感じる仕組み―マスとばねとの力の釣り合い
重なり変化で変位を検知―くし歯静電容量による読み出しの原理 ほか)
第3章 MEMSを“つくる”(百聞は一見に如かず4―「実験用MEMS」で見るMEMS構造と製法
フォトリソグラフィ大研究―MEMSは「積んで、リソして、削って」作る
パターンを転写してMEMSを形作る―Deep RIE ほか)
著者情報 三田 吉郎
 東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学VDEC「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。1972年広島県呉市生まれ。1991年広島大学附属高等学校卒業。1995年東京大学工学部電子工学科卒業、学士。1997年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、修士。2000年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、博士(工学)。2000年東京大学大規模集積システム設計教育研究センター(VDEC)助手。2001年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻講師。2005年同助教授(2007年准教授へ呼称変更)。2001年〜大規模集積システム設計教育研究センター協力教員(クリーンルーム大型共用装置担当)。1997〜1998年フランス国立科学研究センター(CNRS)准研究員。2007〜2008年フランス国立情報学研究所(INRIA)招聘教授。2016〜2017年宇宙航空研究開発機構(JAXA)客員准教授。受賞:2000年丹羽記念賞、2013年(第1回)東京大学工学部Best Teaching Award。所属学会:電気学会、電子情報通信学会、応用物理学会、IEEE。資格:電話級・電信級・第二級・第一級アマチュア無線技士(JF4CZJ/1)、家庭電気初級修理技士。東京大学担当講義:電気磁気学、電子回路2、電子情報機器学、全学体験ゼミナール「マイクロマシンを作ろう」、総合科目「わかる電子回路」ほか(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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