蔵書情報
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書誌情報サマリ
書名 |
MEMSデバイス徹底入門 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ
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著者名 |
三田吉郎/著
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出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2018.8 |
請求記号 |
530/00089/ |
資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
資料種別 |
配架場所 |
別置 |
帯出 |
状態 |
1 |
鶴舞 | 0237431960 | 一般和書 | 2階開架 | 自然・工学 | | 在庫 |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
請求記号 |
530/00089/ |
書名 |
MEMSデバイス徹底入門 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ |
著者名 |
三田吉郎/著
|
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2018.8 |
ページ数 |
6,188p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
978-4-526-07871-2 |
分類 |
530
|
一般件名 |
マイクロマシン
|
書誌種別 |
一般和書 |
内容紹介 |
現実世界と情報世界を仲立ちする、情報処理回路の入出力の要「MEMSデバイス」。MEMSはどう使え、どう動き、どう作るのか、関連するスキルと知識を、豊富な実験例と平易な文章で解説する。 |
タイトルコード |
1001810047160 |
要旨 |
これは、ただの解説本ではない!豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊! |
目次 |
第1章 MEMSを“つかう”(電子情報機器の用途―どこでもMEMSの時代 電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路 百聞は一見に如かず1―秋葉原で買ったMEMS大集合 ほか) 第2章 MEMSを“わかる”(百聞は一見に如かず2―ばね+マス=MEMS構造を理解する MEMSが加速度を感じる仕組み―マスとばねとの力の釣り合い 重なり変化で変位を検知―くし歯静電容量による読み出しの原理 ほか) 第3章 MEMSを“つくる”(百聞は一見に如かず4―「実験用MEMS」で見るMEMS構造と製法 フォトリソグラフィ大研究―MEMSは「積んで、リソして、削って」作る パターンを転写してMEMSを形作る―Deep RIE ほか) |
著者情報 |
三田 吉郎 東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学VDEC「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。1972年広島県呉市生まれ。1991年広島大学附属高等学校卒業。1995年東京大学工学部電子工学科卒業、学士。1997年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、修士。2000年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、博士(工学)。2000年東京大学大規模集積システム設計教育研究センター(VDEC)助手。2001年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻講師。2005年同助教授(2007年准教授へ呼称変更)。2001年〜大規模集積システム設計教育研究センター協力教員(クリーンルーム大型共用装置担当)。1997〜1998年フランス国立科学研究センター(CNRS)准研究員。2007〜2008年フランス国立情報学研究所(INRIA)招聘教授。2016〜2017年宇宙航空研究開発機構(JAXA)客員准教授。受賞:2000年丹羽記念賞、2013年(第1回)東京大学工学部Best Teaching Award。所属学会:電気学会、電子情報通信学会、応用物理学会、IEEE。資格:電話級・電信級・第二級・第一級アマチュア無線技士(JF4CZJ/1)、家庭電気初級修理技士。東京大学担当講義:電気磁気学、電子回路2、電子情報機器学、全学体験ゼミナール「マイクロマシンを作ろう」、総合科目「わかる電子回路」ほか(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) |
内容細目表:
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