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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術　普及版 　(新材料・新素材シリーズ)

著者名 式田光宏／監修 佐藤一雄／監修 田中浩／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2016.3
請求記号 5497/00076/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0237005525一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5497/00076/
書名 マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術　普及版 　(新材料・新素材シリーズ)
並列書名 Etching for Micro/Nano Fabrication
著者名 式田光宏／監修 　 佐藤一雄／監修 　 田中浩／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2016.3
ページ数 9,301p
大きさ 26cm
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
ISBN 978-4-7813-1101-2
分類 5497
一般件名 リソグラフィー
書誌種別 一般和書
内容紹介 マイクロナノ領域でのモノづくりで、中心的な役目を担っている「エッチング技術」に焦点を絞り、基礎から応用までを網羅的に解説。半導体以外の材料や、エッチング技術の高機能化の実例にも触れる。
タイトルコード 1001510114823

目次 ウエットエッチング編（ウエットエッチングの基礎
シリコン結晶異方性エッチングの基礎
エッチピットおよびマイクロピラミッド発生メカニズム　ほか）
ドライエッチング編（ドライエッチングの基礎と各種パラメータの最適化
プラズマエッチングにおける表面反応機構
シリコン深堀エッチング　ほか）
エッチング技術の高機能化編（ウエハ回転方式によるシリコンエッチングの高精度均一化
電圧印加による等方性および異方性の制御
多段異方性エッチングによるエッチング形状の複雑化　ほか）


内容細目表：

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