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６版和書
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書誌情報サマリ

書名

海洋微生物学

著者名 アー・イェー・クリス／著 飯塚広／共訳 山田豊一／共訳
出版者 技報堂
出版年月 1963.1
請求記号 S662/00016/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞2010791354６版和書２階書庫　禁帯出在庫 

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書誌詳細

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請求記号 S662/00016/
書名 海洋微生物学
著者名 アー・イェー・クリス／著 　 飯塚広／共訳 　 山田豊一／共訳
出版者 技報堂
出版年月 1963.1
ページ数 464p 図版6枚
大きさ 22cm
原書名 Морская микробиология
分類 66365
一般件名 海洋微生物
書誌種別 ６版和書
内容注記 文献:p425〜455
タイトルコード 1001010084928

要旨 微細化を阻む壁は三次元実装で突破。半導体製造工程がスッキリとわかる！
目次 半導体製造プロセスを理解する
前工程の概要
洗浄・乾燥ウェットプロセス
イオン注入・熱処理プロセス
リソグラフィプロセス
エッチングプロセス
成膜プロセス
平坦化（ＣＭＰ）プロセス
後工程プロセスの概要
後工程の最新動向
半導体プロセスの今後の動向
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。テクニカルライターとして活動。応用物理学会員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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