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蔵書情報

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所蔵数 8 在庫数 8 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

トコトンやさしい超微細加工の本　(B&Tブックス)

著者名 麻蒔立男／著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.01
請求記号 549/00151/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0234421964一般和書２階書庫　在庫 
2 西2131280337一般和書一般開架　在庫 
3 熱田2231136843一般和書一般開架　在庫 
4 東2431158381一般和書一般開架　在庫 
5 北2731171662一般和書一般開架　在庫 
6 瑞穂2931133678一般和書一般開架　在庫 
7 守山3131329611一般和書一般開架　在庫 
8 志段味4539166068一般和書一般開架　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 549/00151/
書名 トコトンやさしい超微細加工の本　(B&Tブックス)
著者名 麻蒔立男／著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.01
ページ数 159p
大きさ 21cm
シリーズ名 B&Tブックス
シリーズ名 今日からモノ知りシリーズ
ISBN 4-526-05226-4
分類 549
一般件名 電子工学 　 ナノテクノロジー
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009913072941

要旨 超微細加工は薄型ディスプレイやＬＳＩなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしています。原子をもあやつって、いろんなモノを陰で支える基礎技術です。この本では“トコトンやさしい”解説を心がけ、多くの方に「超微細加工」がどんなものであるか、どんなことができるか、将来どのようになっていくのであろうかをわかっていただけるように努めています。
目次 第１章　ナノテクの中核技術、超微細加工（ナノテクでモノ作りその中核超微細加工
超微細加工の加工法　ほか）
第２章　基板作りの基本（基板になるもの
ガラスの基板を作る　ほか）
第３章　基板にパターンを転写（光を使った露光
電子ビームで露光　ほか）
第４章　薄膜の作り方とその性質（薄膜とその作り方
真空とその単位　ほか）
第５章　さまざまな技術で薄膜を作る（蒸着法のソース
レーザアブレーション　ほか）
著者情報 麻蒔 立男
　昭和９年愛知県に生まれる。昭和３２年静岡大学工学部電子工学科卒業。日本電気株式会社に入社。昭和４２年日電バリアン（現、アネルバ）株式会社設立と同時に出向。昭和４９年工学博士。昭和５１年〜５２年日本真空協会理事、研究部会長。昭和６１年日電アネルバ（株）取締役。平成２年東京理科大学教授。平成１年〜９年日本真空協会個人理事。平成１２年〜１５年日本真空協会評議員。昭和６０年高速スパッタ装置の発明により東京都知事賞受賞（関東地方発明表彰）。平成１３年度第２６回技術賞受賞（日本真空協会）。現在、東京理科大学嘱託教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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