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一般和書
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蔵書情報

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所蔵数 6 在庫数 6 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

トコトンやさしい薄膜の本　(B&Tブックス)

著者名 麻蒔立男／著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2002.08
請求記号 5498/00050/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 熱田2230969582一般和書一般開架　在庫 
2 東2431000757一般和書一般開架　在庫 
3 北2731028540一般和書一般開架　在庫 
4 瑞穂2930989112一般和書一般開架　在庫 
5 天白3430967871一般和書一般開架　在庫 
6 志段味4539112294一般和書一般開架　在庫 

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

請求記号 5498/00050/
書名 トコトンやさしい薄膜の本　(B&Tブックス)
著者名 麻蒔立男／著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2002.08
ページ数 159p
大きさ 21cm
シリーズ名 B&Tブックス
シリーズ名 今日からモノ知りシリーズ
ISBN 4-526-04999-9
分類 5498
一般件名 薄膜
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009912038255

要旨 本書では、“とことんやさしい薄膜”を心がけ、多くの方に「薄膜」がどんなものであるか、どんな新しいことができるか、わかっていただけるように努めた。
目次 第１章　人類の夢を実現する薄膜
第２章　薄膜作成に欠かせない真空
第３章　薄膜の構造と性質、その作成法
第４章　蒸着法で作る薄膜
第５章　スパッタ法で作る薄膜
第６章　気相成長（ＣＶＤ）法で作る薄膜
第７章　めっき薄膜
第８章　エッチングと平坦化の技術
著者情報 麻蒔 立男
　昭和９年愛知県に生まれる。昭和３２年静岡大学工学部電子工学科卒業、日本電気株式会社に入社。昭和４２年日電バリアン（現、アネルバ）株式会社設立と同時に出向。昭和４９年工学博士。昭和５１年〜５２年日本真空協会理事、研究部会長。昭和６１年日電アネルバ（株）取締役。平成２年東京理科大学教授、平成１年〜９年日本真空協会個人理事。昭和６０年高速スパッタ装置の発明により東京都知事賞受賞（関東地方発明表彰）。平成１３年第２６回技術賞受賞（日本真空協会）。現在、東京理科大学嘱託教授。日本真空協会評議員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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