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書誌情報サマリ

書名

すぐ使える洗浄技術 装置・洗浄剤の機能と特徴

著者名 工業調査会/編
出版者 工業調査会
出版年月 2001.08
請求記号 576/00092/


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0233945633一般和書2階書庫 在庫 

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書誌詳細

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請求記号 576/00092/
書名 すぐ使える洗浄技術 装置・洗浄剤の機能と特徴
著者名 工業調査会/編
出版者 工業調査会
出版年月 2001.08
ページ数 358p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-4149-0
分類 5765
一般件名 洗浄法
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009911035358

要旨 本書は、洗浄技術のうち、特に洗浄装置と洗浄剤を中心に解説している。洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントのほか、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、その詳細をそれぞれ専門技術者に解説して頂いた。さらに、製造現場ではどのように代替洗浄が行なわれているか、半導体製造工程、液晶製造工程における事例を紹介した。
目次 第1章 洗浄技術の現状(洗浄技術の課題と展望
洗浄装置選定のポイント ほか)
第2章 エレクトロニクス産業の洗浄技術(半導体洗浄技術の現状
半導体ウェハ洗浄技術の動向 ほか)
第3章 洗浄装置の機能と特徴(真空洗浄装置
水系洗浄装置 ほか)
第4章 洗浄剤の特徴と選定(環境に優しい洗浄剤
水系洗浄剤 ほか)
第5章 資料(洗浄度の指標分類
脱脂洗浄法と洗浄剤との適合性 ほか)


内容細目表:

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