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書誌情報サマリ

書名

ナノテクノロジー・表面分析の科学　原子・分子スケールで表面を見る 　(ブルーバックス)

著者名 小宮宗治／[ほか]著
出版者 講談社
出版年月 1992
請求記号 N428-7/00187/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0232000661一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 N428-7/00187/
書名 ナノテクノロジー・表面分析の科学　原子・分子スケールで表面を見る 　(ブルーバックス)
著者名 小宮宗治／[ほか]著
出版者 講談社
出版年月 1992
ページ数 320p
大きさ 18cm
シリーズ名 ブルーバックス
シリーズ巻次 B‐948
ISBN 4-06-132948-0
分類 4287
一般件名 表面(工学)
書誌種別 一般和書
内容注記 関連図書紹介:p320
タイトルコード 1009410178512

要旨 今日の半導体産業の超ＬＳＩ素子では、１ミリメートルの１万分の１単位の大きさのチリが、２０センチメートル程度のシリコン基盤の上に１個も見つからないという、気の遠くなるような清浄さが目標とされています。そのためにも、原子の数を１つ１つ数えるのに等しいレベルで固体表面を観察し、分析する技術が要求されます。ことは半導体産業に限りません。ナノテクノロジーの申し子のようなこれらの表面分析法について、その基本原理から用途まで、わかりやすく紹介しましょう。
目次 第１章　序にかえて―ナノテクノロジーの世界へ
第２章　微小領域の表面世界をさぐるオージェ電子分光法
第３章　商品開発の名アシスタント・ＥＳＣＡ
第４章　極微量の不純物を分析するＳＩＭＳ
第５章　表面分析装置のもっとも効果的な使い方
第６章　最新ナノテクノロジー表面分析器


内容細目表：

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