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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 　第3版 　(図解入門)

著者名 佐藤淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
請求記号 5498/00188/

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1 鶴舞0237529300一般和書１階開架　在庫 
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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

請求記号 5498/00188/
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 　第3版 　(図解入門)
著者名 佐藤淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
シリーズ名 図解入門
シリーズ名 Visual Guide Book
ISBN 978-4-7980-6037-8
分類 5498
一般件名 半導体
書誌種別 一般和書
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
書誌・年譜・年表 文献:p261
タイトルコード 1001910090491

要旨 製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！
目次 第１章　半導体製造装置を取り巻く現状
第２章　半導体製造装置をファブから理解する
第３章　洗浄・乾燥装置
第４章　イオン注入装置
第５章　熱処理装置
第６章　リソグラフィー装置
第７章　エッチング装置
第８章　成膜装置
第９章　平坦化（ＣＭＰ）装置
第１０章　検査・測定・解析装置
第１１章　後工程装置
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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