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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

はじめてのMEMS　(ビギナーズブックス)

著者名 江刺正喜／著
出版者 工業調査会
出版年月 2009.9
請求記号 530/00060/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0235482536一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 530/00060/
書名 はじめてのMEMS　(ビギナーズブックス)
著者名 江刺正喜／著
出版者 工業調査会
出版年月 2009.9
ページ数 230p
大きさ 21cm
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ巻次 48
ISBN 978-4-7693-1287-1
分類 530
一般件名 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容紹介 従来の情報通信機器から、ゲーム機・医療福祉機器分野まで応用分野が拡大しているMEMS(微小機械電気システム)。半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSの基礎から応用までをわかりやすく解説する。
タイトルコード 1000910051843

要旨 ＭＥＭＳ（微小機械電気システム）の応用分野が拡大している。従来の自動車のエアバッグ、情報通信機器への応用から、最近はゲーム機、製造装置、科学機器、医療福祉機器分野での採用も始まっている。本書では、入門者がＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までを学べるよう解説した。
目次 第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ
ＭＥＭＳの歴史）
第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング
エッチング
堆積と応力制御
接合
複合プロセス
集積化
パッケージングと組立
設計・評価）
第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ
アクチュエータ
エネルギー源）
第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用
情報・通信応用
製造・検査応用
医療・バイオ応用
ＭＥＭＳビジネス）


内容細目表：

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