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一般和書
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ぞうしょじょうほう

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しょしじょうほうサマリ

本のだいめい

半導体のための真空技術入門　現場で役立つ基礎と応用

書いた人の名前 宇津木勝／著
しゅっぱんしゃ 工業調査会
しゅっぱんねんげつ 2007.02
本のきごう 5498/00086/

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No. としょかん 本のばんごう 本のしゅるい 本のばしょ くわしいばしょ せいげん じょうたい
1 鶴舞0234992790一般和書２階開架自然・工学在庫 

かんれんしりょう

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半導体　真空技術

しょししょうさい

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本のきごう 5498/00086/
本のだいめい 半導体のための真空技術入門　現場で役立つ基礎と応用
書いた人の名前 宇津木勝／著
しゅっぱんしゃ 工業調査会
しゅっぱんねんげつ 2007.02
ページすう 219p
おおきさ 21cm
ISBN 4-7693-1262-8
ISBN 978-4-7693-1262-8
ぶんるい 5498
いっぱんけんめい 半導体 　 真空技術
本のしゅるい 一般和書
ないようちゅうき 文献:p213
タイトルコード 1009916077905

もくじ １　基礎編（半導体製造装置と真空
真空の理論と計算
真空ポンプとその使い方
真空ゲージとその使い方
ガスシステム・真空部品とその使い方　ほか）
２　応用編（サーマル装置とプロセス
プラズマ装置とプロセス
ＰＶＤ装置とプロセス
ＣＶＤ装置とプロセス
エッチング装置とプロセス　ほか）


ないよう細目表：

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