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書誌情報サマリ

書名

バルク結晶成長技術　(アドバンストエレクトロニクスシリーズ)

著者名 干川圭吾／編
出版者 培風館
出版年月 1994.05
請求記号 5498/00037/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210532990一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5498/00037/
書名 バルク結晶成長技術　(アドバンストエレクトロニクスシリーズ)
著者名 干川圭吾／編
出版者 培風館
出版年月 1994.05
ページ数 367p
大きさ 22cm
シリーズ名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
シリーズ巻次 1-4
ISBN 4-563-03604-8
分類 5498
一般件名 半導体 　 結晶成長
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009911034131

目次 第１編　シリコン結晶成長技術（シリコン結晶成長技術の進展
ＣＺ法シリコン結晶中の欠陥核形成
酸素濃度制御と磁界技術
連続充填引上げ法
二層引上げ法
融液対流とシミュレーション技術）
第２編　化合物半導体結晶成長技術（液体封止引上げ法
水平ブリッジマン法
垂直ブリッジマン法
２‐６族結晶成長法）
第３編　酸化物結晶成長技術（引上げ法
融液成長法
溶液成長法
対流、熱流シミュレーション）


内容細目表：

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