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書誌情報サマリ

書名

ナノ構造作製技術の基礎　(シリーズ物性物理の新展開)

著者名 曽根純一／編
出版者 丸善
出版年月 1996.11
請求記号 N549-8/01045/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0232946475一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 N549-8/01045/
書名 ナノ構造作製技術の基礎　(シリーズ物性物理の新展開)
著者名 曽根純一／編
出版者 丸善
出版年月 1996.11
ページ数 185p
大きさ 22cm
シリーズ名 シリーズ物性物理の新展開
ISBN 4-621-04231-9
分類 5498
一般件名 半導体 　 結晶成長
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009610087013

要旨 本書は、ナノ構造の物性を正しく理解しその工学的応用を図るという観点で、分子線エピタキシャル成長法、有機金属気相成長法、原子層エピタキシャル成長法、ビーム露光技術、ドライエッチング法について、物理的基礎から最先端の技術まで、豊富な図・写真を含む実験結果を交えて、わかりやすく解説する。
目次 分子線エピタキシー
有機金属気相成長法
原子層エピタキシー
ビーム露光技術
結晶加工技術


内容細目表：

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