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書誌情報サマリ

書名

ウルトラクリーン化技術　三菱電機／東北大学の挑戦

著者名 赤堀正幸／著
出版者 ダイヤモンド社
出版年月 1988
請求記号 N549-8/00821/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0230756330一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

請求記号 N549-8/00821/
書名 ウルトラクリーン化技術　三菱電機／東北大学の挑戦
著者名 赤堀正幸／著
出版者 ダイヤモンド社
出版年月 1988
ページ数 230p
大きさ 19cm
ISBN 4-478-24043-4
分類 5498
一般件名 半導体
書誌種別 一般和書
内容注記 参考資料:p228
タイトルコード 1009410027465

要旨 半導体戦争の勝利は、クリーン化技術の克服によってなしとげられた。本書は半導体づくりに最も嫌われるゴミに挑戦して、画期的勝利を収めた三菱電機と東北大学の開発事例をドキュメント風にえがき、クリーン化技術をベースとした新しい産業分野を紹介する異色の書。
目次 １章　新しい産業マップとクリーン化技術
２章　半導体産業とクリーン化技術
３章　三菱電機のクリーン化技術戦略（三菱半導体クリーン化軍団
臨海半導体工場建設
史上最大の作戦
クリーン度維持管理専門集団
パッションとパースピレーション）
４章　クリーン化技術新時代―東北大学のウルトラ・スーパークリーンルーム


内容細目表：

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