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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

薄膜作製ハンドブック

著者名 応用物理学会薄膜・表面物理分科会／編
出版者 共立出版
出版年月 1991
請求記号 N549/00899/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210268058一般和書２階書庫　禁帯出在庫 

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書誌詳細

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請求記号 N549/00899/
書名 薄膜作製ハンドブック
著者名 応用物理学会薄膜・表面物理分科会／編
出版者 共立出版
出版年月 1991
ページ数 380p
大きさ 27cm
ISBN 4-320-08493-4
分類 549
一般件名 薄膜
書誌種別 一般和書
内容注記 各章末:文献
タイトルコード 1009410131146

要旨 現在用いられている薄膜作製法を学問的見地から集大成。薄膜作製の基礎となる確立された事項の解説と新しい技術の紹介との両方をバランスよく、かつ具体的に記載。学問的・技術的に高度な水準を保持し、初学者から第一線研究者にまで役立つ寿命の長いハンドブックトして編纂。
目次 第１編　基礎（真空技術
蒸発現象
気相反応
薄膜成長
エピタキシャル成長
液相エピタキシャル成長法の基礎理論
膜厚測定
分析・評価技術）
第２編　薄膜作製法（ＰＶＤ
ＣＶＤ
その他の技術）


内容細目表：

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