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蔵書情報

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書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　製造装置の全体を俯瞰する 　第2版 　(図解入門)

著者名 佐藤淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
請求記号 5498/00178/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0236966289一般和書２階書庫　在庫 
2 東2432287445一般和書一般開架　在庫 
3 中村2532089204一般和書一般開架　在庫 
4 楠4331313017一般和書一般開架　在庫 
5 富田4431287459一般和書一般開架　在庫 

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

請求記号 5498/00178/
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　製造装置の全体を俯瞰する 　第2版 　(図解入門)
著者名 佐藤淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
シリーズ名 図解入門
シリーズ名 Visual Guide Book
ISBN 978-4-7980-4726-3
分類 5498
一般件名 半導体
書誌種別 一般和書
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
書誌・年譜・年表 文献:p259
タイトルコード 1001610044958



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