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一般洋書
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書誌情報サマリ

書名

Something about the author　v. 377 　facts and pictures about authors and illustrators of books for yo... ＋ 続きを見る

著者名 [project editor: Jennifer Stock]
出版者 Gale
出版年月 c2022
請求記号 90/00001/３７７

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210949160一般洋書児童書庫　禁帯出在庫 

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書誌詳細

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請求記号 C/00058/３
書名 王家の紋章　第3巻 　(プリンセス・コミックス)
著者名 細川知栄子／著
出版者 秋田書店
出版年月 1978.
ページ数 211p
大きさ 18cm
シリーズ名 プリンセス・コミックス
ISBN 4-253-07062-0
分類 C
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009410066950

要旨 微細化を阻む壁は三次元実装で突破。半導体製造工程がスッキリとわかる！
目次 半導体製造プロセスを理解する
前工程の概要
洗浄・乾燥ウェットプロセス
イオン注入・熱処理プロセス
リソグラフィプロセス
エッチングプロセス
成膜プロセス
平坦化（ＣＭＰ）プロセス
後工程プロセスの概要
後工程の最新動向
半導体プロセスの今後の動向
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。テクニカルライターとして活動。応用物理学会員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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