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書誌情報サマリ

書名

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合  普及版  (新材料・新素材シリーズ)

著者名 益一哉/監修 年吉洋/監修 町田克之/監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
請求記号 530/00090/


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210912044一般和書2階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 530/00090/
書名 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合  普及版  (新材料・新素材シリーズ)
並列書名 Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices:Basics and Applications
著者名 益一哉/監修   年吉洋/監修   町田克之/監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
ページ数 9,279p
大きさ 26cm
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
ISBN 978-4-7813-1364-1
分類 530
一般件名 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容紹介 微細化技術の追求とともに、新たな技術開発軸として期待される「異種機能集積」。基礎から応用技術まで、異種機能集積化技術を体系的に解説。種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術を紹介する。
タイトルコード 1001910001851

要旨 日本で最初に販売された公共交通機関の経路検索システム「駅すぱあと」の社員4人が鉄道旅をじわ〜っと楽しむ技を伝授しちゃいます!!
目次 0番 我ら乗換BIG4!
1番 乗り鉄の流儀
2番 旅の目的は何?
3番 道中を楽しむ
4番 お得情報をゲットせよ
5番 おススメの交通移動手段
6番 乗り鉄を究める乗換BIG4 旅の記録


内容細目表:

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