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じどう図書
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蔵書情報

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所蔵数 2 在庫数 0 予約数 11

書誌情報サマリ

書名

エミール・ガレ　人と作品 　(中公文庫)

著者名 由水常雄／著
出版者 中央公論社
出版年月 1989
請求記号 N751-5/00716/

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1 東2432687636じどう図書じどう開架　貸出中 
2 天白3432542946じどう図書じどう開架　貸出中 

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童話　民話

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

請求記号 N751-5/00716/
書名 エミール・ガレ　人と作品 　(中公文庫)
著者名 由水常雄／著
出版者 中央公論社
出版年月 1989
大きさ 16cm
シリーズ名 中公文庫
シリーズ巻次 M351‐3
ISBN 4-12-201609-6
一般注記 頁付:図版52枚 266p
分類 7515
個人件名 Gallé,Emile
書誌種別 一般和書
内容注記 エミール・ガレ略年譜:p233〜255
タイトルコード 1009410138341

要旨 製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる！
目次 半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化（ＣＭＰ）装置
検査・測定・解析装置
後工程装置
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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