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書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  第2版  (図解入門)

著者名 佐藤淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
請求記号 5498/00178/


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0236966289一般和書2階書庫 在庫 
2 2432287445一般和書一般開架 在庫 
3 中村2532089204一般和書一般開架 在庫 
4 4331313017一般和書一般開架 在庫 
5 富田4431287459一般和書一般開架 在庫 

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

請求記号 5498/00178/
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  第2版  (図解入門)
著者名 佐藤淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
シリーズ名 図解入門
シリーズ名 Visual Guide Book
ISBN 978-4-7980-4726-3
分類 5498
一般件名 半導体
書誌種別 一般和書
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
書誌・年譜・年表 文献:p259
タイトルコード 1001610044958

目次 第1章 氷山に向かって突進するタイタニック号
第2章 黒ひげ危機一髪!
第3章 バラマキ合戦
第4章 インフレは制御できるのか
第5章 日本は、二周回遅れ
第6章 最後の問題
著者情報 中野 剛志
 1971年、神奈川県生まれ。評論家。元京都大学大学院工学研究科准教授。専門は政治思想。96年、東京大学教養学部(国際関係論)卒業後、通商産業省(現・経済産業省)に入省。2000年よりエディンバラ大学大学院に留学し、政治思想を専攻。01年に同大学院にて優等修士号、05年に博士号を取得(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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