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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　製造装置の全体を俯瞰する 　第2版 　(図解入門)

著者名 佐藤淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
請求記号 5498/00178/

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請求記号 5498/00178/
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　製造装置の全体を俯瞰する 　第2版 　(図解入門)
著者名 佐藤淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
シリーズ名 図解入門
シリーズ名 Visual Guide Book
ISBN 978-4-7980-4726-3
分類 5498
一般件名 半導体
書誌種別 一般和書
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
書誌・年譜・年表 文献:p259
タイトルコード 1001610044958

要旨 製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる！
目次 半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化（ＣＭＰ）装置
検査・測定・解析装置
後工程装置
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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