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書誌情報サマリ

書名

ふらんすエチケット集　(文庫クセジュ)

著者名 ジャン・セール／著 三保元／訳
出版者 白水社
出版年月 1984
請求記号 N3859/00274/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0231816257一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 N3859/00274/
書名 ふらんすエチケット集　(文庫クセジュ)
著者名 ジャン・セール／著 　 三保元／訳
出版者 白水社
出版年月 1984
ページ数 151p
大きさ 18cm
シリーズ名 文庫クセジュ
シリーズ巻次 318
ISBN 4-560-05318-9
分類 3859
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009310049795

要旨 製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！
目次 第１章　半導体製造装置を取り巻く現状
第２章　半導体製造装置をファブから理解する
第３章　洗浄・乾燥装置
第４章　イオン注入装置
第５章　熱処理装置
第６章　リソグラフィー装置
第７章　エッチング装置
第８章　成膜装置
第９章　平坦化（ＣＭＰ）装置
第１０章　検査・測定・解析装置
第１１章　後工程装置
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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