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一般和書
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ぞうしょじょうほう

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しょしじょうほうサマリ

本のだいめい

自殺の研究　(新潮選書)

書いた人の名前 A.アルヴァレズ／著 早乙女忠／訳
しゅっぱんしゃ 新潮社
しゅっぱんねんげつ 1974
本のきごう N902/00052/

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No. としょかん 本のばんごう 本のしゅるい 本のばしょ くわしいばしょ せいげん じょうたい
1 鶴舞0110407178一般和書２階書庫　在庫 

かんれんしりょう

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しょししょうさい

この資料の書誌詳細情報です。

本のきごう N902/00052/
本のだいめい 自殺の研究　(新潮選書)
書いた人の名前 A.アルヴァレズ／著 　 早乙女忠／訳
しゅっぱんしゃ 新潮社
しゅっぱんねんげつ 1974
ページすう 266p
おおきさ 20cm
シリーズめい 新潮選書
ぶんるい 9029
本のしゅるい 一般和書
タイトルコード 1009210039055

ようし 製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！
もくじ 第１章　半導体製造装置を取り巻く現状
第２章　半導体製造装置をファブから理解する
第３章　洗浄・乾燥装置
第４章　イオン注入装置
第５章　熱処理装置
第６章　リソグラフィー装置
第７章　エッチング装置
第８章　成膜装置
第９章　平坦化（ＣＭＰ）装置
第１０章　検査・測定・解析装置
第１１章　後工程装置
ちょしゃじょうほう 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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