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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

プラズマプロセス技術　ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

著者名 プラズマ・核融合学会／編
出版者 森北出版
出版年月 2017.1
請求記号 5014/00167/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210876827一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5014/00167/
書名 プラズマプロセス技術　ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者名 プラズマ・核融合学会／編
出版者 森北出版
出版年月 2017.1
ページ数 7,273p
大きさ 22cm
ISBN 978-4-627-77561-9
分類 5014
一般件名 材料科学 　 プラズマ物理学
書誌種別 一般和書
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
書誌・年譜・年表 文献:章末
タイトルコード 1001610091590

要旨 最先端のプラズマ応用技術を解説！基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。
目次 第１章　プラズマ技術の基礎
第２章　プラズマナノプロセスの物理的基礎
第３章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
第４章　ナノエッチング技術
第５章　ナノ材料の基板成長と構造制御
第６章　ナノ粒子の気相合成
第７章　計測技術とプロセス解析


内容細目表：

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