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６版和書
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書誌情報サマリ

書名

孝経述議復原に関する研究

著者名 林秀一／著
出版者 林先生学位論文出版記念会
出版年月 1953
請求記号 SN123/00003/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞2011418601６版和書２階書庫　禁帯出在庫 

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書誌詳細

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請求記号 SN123/00003/
書名 孝経述議復原に関する研究
著者名 林秀一／著
出版者 林先生学位論文出版記念会
出版年月 1953
ページ数 344,10p
大きさ 22cm
一般注記 限定版300部
分類 1237
一般件名 孝経述議
書誌種別 ６版和書
タイトルコード 1001110065552

要旨 製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる！
目次 半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化（ＣＭＰ）装置
検査・測定・解析装置
後工程装置
著者情報 佐藤 淳一
　京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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