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本のないよう

６版和書
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ぞうしょじょうほう

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本のかず 1 ざいこのかず 1 よやくのかず 0

しょしじょうほうサマリ

本のだいめい

大阪方言辞典

書いた人の名前 牧村史陽／編
しゅっぱんしゃ 杉本書店
しゅっぱんねんげつ 1955
本のきごう S818/00013/

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本のばしょ

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No. としょかん 本のばんごう 本のしゅるい 本のばしょ くわしいばしょ せいげん じょうたい
1 鶴舞2010606974６版和書２階書庫　禁帯出在庫 

かんれんしりょう

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しょししょうさい

この資料の書誌詳細情報です。

本のきごう F1/09397/
本のだいめい 九十九十九　(講談社ノベルス)
書いた人の名前 舞城王太郎／著
しゅっぱんしゃ 講談社
しゅっぱんねんげつ 2003.04
ページすう 598p
おおきさ 18cm
シリーズめい 講談社ノベルス
ISBN 4-06-182306-X
ぶんるい 9136
本のしゅるい 一般和書
タイトルコード 1009913005596

もくじ 総論　Ｃａｔ‐ＣＶＤ法の誕生、期待とその課題（Ｃａｔ‐ＣＶＤ法の誕生
Ｃａｔ‐ＣＶＤ膜の特徴　ほか）
第１章　基礎編（低温成膜の物理とＣａｔ‐ＣＶＤ―フィラメント表面での化学反応の評価
気相中のラジカル種の定量　ほか）
第２章　Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置（大型Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置
簡易型Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置　ほか）
第３章　応用編（ＳｉＮ―ＬＳＩトランジスターへの応用
レジストエッチング―水素ラジカルによるレジスト除去　ほか）
第４章　材料各論（アモルファスおよび微結晶Ｓｉ
エピタキシャルＳｉＣ　ほか）


ないよう細目表：

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