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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

機能性無機膜　開発技術と応用 　普及版 　(CMCTL)

著者名 上条栄治／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2011.9
請求記号 5014/00115/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0235864261一般和書２階開架自然・工学在庫 

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50148

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

請求記号 5014/00115/
書名 機能性無機膜　開発技術と応用 　普及版 　(CMCTL)
著者名 上条栄治／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2011.9
ページ数 305p
大きさ 21cm
シリーズ名 CMCTL
シリーズ巻次 403
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
ISBN 978-4-7813-0359-8
一般注記 欧文タイトル:Functional Inorganic Films:New Technologies and Applications　初版のタイトル:機能性無機膜の製造と応用
分類 50148
一般件名 非金属材料 　 無機化学 　 薄膜
書誌種別 一般和書
内容紹介 無機材料薄膜に焦点を当て、乾式法のみでなく湿式法も含めた薄膜製造プロセス技術、製造装置技術、薄膜評価技術、応用技術について解説する。関連するトピックスも収録。
タイトルコード 1001110062993

目次 第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法
ＣＶＤ法　ほか）
第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置
反応性プラズマ蒸着装置　ほか）
第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造
薄膜の密着力および内部応力　ほか）
第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用
シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）
第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品
プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）


内容細目表：

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