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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

「薄膜」のキホン　原子に迫る超微細・超高密度の世界 　(イチバンやさしい理工系)

著者名 麻蒔立男／著
出版者 ソフトバンククリエイティブ
出版年月 2010.9
請求記号 5498/00130/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0235670924一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5498/00130/
書名 「薄膜」のキホン　原子に迫る超微細・超高密度の世界 　(イチバンやさしい理工系)
著者名 麻蒔立男／著
出版者 ソフトバンククリエイティブ
出版年月 2010.9
ページ数 190p
大きさ 21cm
シリーズ名 イチバンやさしい理工系
シリーズ巻次 SBE-006
ISBN 978-4-7973-5713-4
分類 5498
一般件名 薄膜
書誌種別 一般和書
内容注記 文献:p186〜188
内容紹介 薄膜技術の注目ポイントをやさししく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して、新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界がみえてくるのかを紹介する。
タイトルコード 1001010054997

要旨 わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのかなどを紹介。
目次 第１章　よい暮らしは美と微から
第２章　真空は薄膜づくりの貴重な環境
第３章　薄膜をつくろう
第４章　薄膜には独特の性質が表れる
第５章　基板と薄膜を強く結びつけるための技術
第６章　薄膜づくりにはプラズマが大切
第７章　古くから用いられた蒸着法
第８章　大面積ソース・量産向きのスパッタ法
第９章　気体から薄膜をつくる気相成長法
第１０章　液体の中で薄膜をつくる―めっき
第１１章　薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング
第１２章　薄膜を使って前進―その可能性はかぎりない
著者情報 麻蒔 立男
　１９３４年、愛知県生まれ。１９５７年に静岡大学工学部電子工学科を卒業後、日本電気株式会社に入社、１９６７年から日電バリアン（現キヤノンアネルバ）に出向。１９９０年より２０１０年まで東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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