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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用　MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 　普及版 　(新材料・新素材シリーズ)

著者名 益一哉／監修 年吉洋／監修 町田克之／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
請求記号 530/00090/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210912044一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 530/00090/
書名 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用　MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 　普及版 　(新材料・新素材シリーズ)
並列書名 Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices:Basics and Applications
著者名 益一哉／監修 　 年吉洋／監修 　 町田克之／監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2019.4
ページ数 9,279p
大きさ 26cm
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
ISBN 978-4-7813-1364-1
分類 530
一般件名 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容紹介 微細化技術の追求とともに、新たな技術開発軸として期待される「異種機能集積」。基礎から応用技術まで、異種機能集積化技術を体系的に解説。種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術を紹介する。
タイトルコード 1001910001851

要旨 スーパーじいさんのサノスケじいさんと、まごの一郎太が全国をたずねて、大かつやく。こんどの旅は、埼玉県。ふしぎなベーゴマで岩のかいぶつをやっつけたよ。たのしい「サノスケぬりえラリー」日本白地図つき。
著者情報 なすだ みのる
　那須田稔。１９３１年静岡県浜松市に生まれる。東洋大学国文学科を経て愛知大学中国文学科中退。「シラカバと少女」（実業之日本社）で、日本児童文学者協会賞、サンケイ出版児童文化賞、「おとぎばなしシリーズ」で毎日出版文化賞を受賞(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
あべ はじめ
　阿部肇。１９５１年、群馬県館林市に生まれる。新聞社を退社の後フリー(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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