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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

マイクロプラズマ　基礎と応用

著者名 橘邦英／編著 石井彰三／編著 寺嶋和夫／編著
出版者 オーム社
出版年月 2009.3
請求記号 427/00082/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0235436540一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 427/00082/
書名 マイクロプラズマ　基礎と応用
著者名 橘邦英／編著 　 石井彰三／編著 　 寺嶋和夫／編著
出版者 オーム社
出版年月 2009.3
ページ数 260p
大きさ 22cm
ISBN 978-4-274-20703-7
分類 4276
一般件名 プラズマ物理学
書誌種別 一般和書
内容注記 文献:章末
内容紹介 ミクロな領域でのプラズマが有する新しい特性を、従来のプラズマの特性と比較しながら概説し、その生成に関する固有の方法や、特性を評価するための診断など、いろいろな新しい応用技術の現状について紹介する。
タイトルコード 1000910002691

目次 第１章　序論（マイクロプラズマの定義とその特徴
マイクロプラズマの生成　ほか）
第２章　微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象（高密度媒質による特徴
微小性による特徴　ほか）
第３章　マイクロプラズマの生成（気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術
液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術　ほか）
第４章　マイクロプラズマの診断とシミュレーション（プラズマメータの計測
気相・表面近傍での反応活性種の計測　ほか）
第５章　マイクロプラズマの応用（材料プロセス応用
微量化学分析・センサへの応用　ほか）
著者情報 橘 邦英
　１９７３年京都大学大学院工学研究科博士課程修了。１９７４年工学博士。現在、京都大学大学院工学研究科電子工学専攻教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
石井 彰三
　１９７３年東京工業大学大学院理工学研究科博士課程修了。１９７３年工学博士。現在、東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
寺嶋 和夫
　１９８４年東京大学大学院工学系研究科修士課程修了。１９８８年工学博士。現在、東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系専攻准教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
白藤 立
　１９９１年京都大学大学院工学研究科博士後期課程中途退学。１９９８年博士（工学）。現在、京都大学産官学連携センター知的財産室准教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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