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書誌情報サマリ

書名

LSIテスティングハンドブック

著者名 LSIテスティング学会／編
出版者 オーム社
出版年月 2008.11
請求記号 5497/00065/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210702858一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5497/00065/
書名 LSIテスティングハンドブック
著者名 LSIテスティング学会／編
出版者 オーム社
出版年月 2008.11
ページ数 598p
大きさ 22cm
ISBN 978-4-274-20632-0
分類 5497
一般件名 集積回路-便覧
書誌種別 一般和書
内容紹介 LSIテスティングの基本概念から実際までを把握できるハンドブック。LSIのテストに関する理論と技術、およびその装置全般の原理や測定方法などを体系的に解説する。具体的な事例やデータ、図表、式も豊富に掲載。
タイトルコード 1000810115504

要旨 理論と技術、装置全般の原理や法廷方法など「ＬＳＩのテスト」を体系化。
目次 １編　ＬＳＩ製造工程と検査・解析（設計工程：テスト設計
マスク製造工程　ほか）
２編　歩留り解析（歩留り解析
マスク解析　ほか）
３編　故障解析（故障現象概論
故障解析の流れ　ほか）
４編　ツールの原理（光
Ｘ線　ほか）


内容細目表：

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