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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

電子線リソグラフィ教本

著者名 横山浩／監修 秋永広幸／編
出版者 オーム社
出版年月 2007.06
請求記号 5497/00061/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0235048865一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5497/00061/
書名 電子線リソグラフィ教本
著者名 横山浩／監修 　 秋永広幸／編
出版者 オーム社
出版年月 2007.06
ページ数 210p
大きさ 21cm
ISBN 4-274-20415-4
ISBN 978-4-274-20415-9
分類 5497
一般件名 リソグラフィー 　 電子線
書誌種別 一般和書
内容注記 文献:p201〜203
タイトルコード 1009917022043

目次 第１章　電子線リソグラフィ概論
第２章　電子線制御技術
第３章　電子線描画装置
第４章　電子線描画技術
第５章　電子線レジスト
第６章　電子線リソグラフィプロセス
第７章　電子線リソグラフィ技術の活用
第８章　電子線描画装置の導入
第９章　電子線描画装置の操作方法
著者情報 横山 浩
　１９７９年東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻修士課程修了。１９８７年工学博士。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門研究部門長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
秋永 広幸
　１９９２年筑波大学大学院博士課程工学研究科修了、工学博士。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門研究グループ長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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