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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

センサ・マイクロマシン工学　(EE text)

著者名 藤田博之／編著
出版者 オーム社
出版年月 2005.10
請求記号 5012/00084/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0234750552一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5012/00084/
書名 センサ・マイクロマシン工学　(EE text)
著者名 藤田博之／編著
出版者 オーム社
出版年月 2005.10
ページ数 209p
大きさ 26cm
シリーズ名 EE text
ISBN 4-274-20134-1
分類 50122
一般件名 センサ 　 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容注記 文献:p199〜204
タイトルコード 1009915048657

目次 １章　本書の構成と使い方
２章　センサ・マイクロマシンの概要
３章　微細構造製作プロセス技術
４章　物理センサ
５章　マイクロアクチュエータとマイクロマシン
６章　化学センサとマイクロ化学システム
著者情報 藤田 博之
　１９８０年東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。１９８０年工学博士。現在、東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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