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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術　(ビギナーズブックス)

著者名 岡崎信次／著 鈴木章義／著 上野巧／著
出版者 工業調査会
出版年月 2003.06
請求記号 5497/00050/

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1 鶴舞0234306322一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5497/00050/
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術　(ビギナーズブックス)
著者名 岡崎信次／著 　 鈴木章義／著 　 上野巧／著
出版者 工業調査会
出版年月 2003.06
ページ数 305p
大きさ 21cm
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ巻次 29
ISBN 4-7693-1224-5
分類 5497
一般件名 リソグラフィー 　 半導体
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009913023430

要旨 半導体集積回路の発展を支えてきたのは、微細なパターンを造り出す半導体リソグラフィ技術である。本書はこの変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説したもの。具体的には、光、電子線、Ｘ線・ＥＵＶなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれ、さらに今後の課題と展望についても詳細に解説している。
目次 第１章　半導体集積回路の発展とリソグラフィ技術
第２章　光リソグラフィ技術
第３章　電子線リソグラフィ技術
第４章　Ｘ線・ＥＵＶリソグラフィ技術
第５章　その他のリソグラフィ技術
第６章　マスク技術
第７章　レジスト技術
第８章　評価計測技術
第９章　リソグラフィ技術の今後の課題と展望


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