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書誌情報サマリ

書名

ウルトラクリーンULSI技術　(アドバンストエレクトロニクスシリーズ)

著者名 大見忠弘／著
出版者 培風館
出版年月 1995.12
請求記号 5497/00035/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210533022一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5497/00035/
書名 ウルトラクリーンULSI技術　(アドバンストエレクトロニクスシリーズ)
著者名 大見忠弘／著
出版者 培風館
出版年月 1995.12
ページ数 366p
大きさ 22cm
シリーズ名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
シリーズ巻次 1-15
ISBN 4-563-03615-3
分類 5497
一般件名 集積回路 　 半導体
書誌種別 一般和書
タイトルコード 1009911034148

要旨 本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。
目次 ４端子デバイスエレクトロニクス
高精度トータル低温化プロセス
表面・界面のウルトラクリーン化技術
クリーン表面とガス分子の相互作用


内容細目表：

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