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書誌情報サマリ

書名

半導体製造装置用語辞典 第2版

著者名 日本半導体製造装置協会/編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991
請求記号 N549-8/00811/


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0231591264一般和書2階書庫 禁帯出在庫 

書誌詳細

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請求記号 N549-8/00811/
書名 半導体製造装置用語辞典 第2版
著者名 日本半導体製造装置協会/編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991
ページ数 419p
大きさ 22cm
ISBN 4-526-02987-4
分類 5498
一般件名 半導体-辞典
書誌種別 一般和書
内容注記 引用文献一覧表:p333
タイトルコード 1009410144113

要旨 旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数2200語を掲載。より使いやすい実務辞典。
目次 第1章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第2章 設計工程用語
第3章 マスク製作工程用語
第4章 ウェーハ製造工程用語
第5章 ウェーハ処理工程用語
第6章 組立工程用語
第7章 検査工程用語
第8章 設備・環境工程用語
資料


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