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本のないよう

一般和書
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ぞうしょじょうほう

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しょしじょうほうサマリ

本のだいめい

半導体製造装置用語辞典　第2版

書いた人の名前 日本半導体製造装置協会／編
しゅっぱんしゃ 日刊工業新聞社
しゅっぱんねんげつ 1991
本のきごう N549-8/00811/

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No. としょかん 本のばんごう 本のしゅるい 本のばしょ くわしいばしょ せいげん じょうたい
1 鶴舞0231591264一般和書２階書庫　禁帯出在庫 

かんれんしりょう

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しょししょうさい

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本のきごう N549-8/00811/
本のだいめい 半導体製造装置用語辞典　第2版
書いた人の名前 日本半導体製造装置協会／編
しゅっぱんしゃ 日刊工業新聞社
しゅっぱんねんげつ 1991
ページすう 419p
おおきさ 22cm
ISBN 4-526-02987-4
ぶんるい 5498
いっぱんけんめい 半導体-辞典
本のしゅるい 一般和書
ないようちゅうき 引用文献一覧表:p333
タイトルコード 1009410144113

ようし 旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数２２００語を掲載。より使いやすい実務辞典。
もくじ 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章　設計工程用語
第３章　マスク製作工程用語
第４章　ウェーハ製造工程用語
第５章　ウェーハ処理工程用語
第６章　組立工程用語
第７章　検査工程用語
第８章　設備・環境工程用語
資料


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