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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

半導体製造装置用語辞典　第2版

著者名 日本半導体製造装置協会／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991
請求記号 N549-8/00811/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0231591264一般和書２階書庫　禁帯出在庫 

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書誌詳細

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請求記号 N549-8/00811/
書名 半導体製造装置用語辞典　第2版
著者名 日本半導体製造装置協会／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991
ページ数 419p
大きさ 22cm
ISBN 4-526-02987-4
分類 5498
一般件名 半導体-辞典
書誌種別 一般和書
内容注記 引用文献一覧表:p333
タイトルコード 1009410144113

要旨 旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数２２００語を掲載。より使いやすい実務辞典。
目次 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章　設計工程用語
第３章　マスク製作工程用語
第４章　ウェーハ製造工程用語
第５章　ウェーハ処理工程用語
第６章　組立工程用語
第７章　検査工程用語
第８章　設備・環境工程用語
資料


内容細目表：

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