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書誌情報サマリ

書名

アモルファス薄膜の評価　(表面・薄膜分子設計シリーズ)

著者名 井村健／著
出版者 共立出版
出版年月 1989
請求記号 N431-8/00454/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0231107475一般和書２階書庫　在庫 

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書誌詳細

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請求記号 N431-8/00454/
書名 アモルファス薄膜の評価　(表面・薄膜分子設計シリーズ)
著者名 井村健／著
出版者 共立出版
出版年月 1989
ページ数 124p
大きさ 19cm
シリーズ名 表面・薄膜分子設計シリーズ
シリーズ巻次 8
ISBN 4-320-08508-6
一般注記 叢書の編集:日本表面科学会
分類 43189
一般件名 薄膜
書誌種別 一般和書
内容注記 参考文献:p114〜121
タイトルコード 1009410075707

要旨 アモルファス薄膜は金属、半導体、絶縁物、さらには高分子、有機物を問わず、あらゆるタイプの材料で多様な物理的、化学的性質を示し、種々の分野で、結晶性薄膜とは一味違った応用の可能性に富む。本書では主にアモルファスシリコン薄膜を対象として著者が体験した組成と化学結合状態の評価法、構造の評価法について実例を挙げながら入門的に述べている。
目次 構造と化学結合状態
ラザフォード後方散乱法―組成の評価
水素の定量
スパッタで作成したａ‐Ｓｉ合金
スパッタによる微結晶シリコン膜の構造と物性


内容細目表：

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