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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

ナノインプリント技術

著者名 松井真二／編著 平井義彦／編著 電子情報通信学会／編
出版者 電子情報通信学会
出版年月 2014.3
請求記号 549/00364/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0236403572一般和書２階開架自然・工学在庫 

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松井真二　平井義彦　電子情報通信学会

書誌詳細

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請求記号 549/00364/
書名 ナノインプリント技術
並列書名 Nanoimprint Technology
著者名 松井真二／編著 　 平井義彦／編著 　 電子情報通信学会／編
出版者 電子情報通信学会
出版年月 2014.3
ページ数 10,265p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-88552-285-7
分類 549
一般件名 ナノインプリント
書誌種別 一般和書
内容紹介 ナノインプリントの基礎とともに、最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用、評価・測定技術、展望などをわかりやすく解説する。
タイトルコード 1001310146271

要旨 ナノインプリントの基礎とともに現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。実際にナノインプリント技術に取り組む際に参考になる最新の研究成果を網羅している。
目次 ナノインプリントと微細加工
ナノインプリントの物理化学とシミュレーション
熱ナノインプリント
ＵＶナノインプリント
室温ナノインプリント
モールド技術
離型技術
装置技術
３次元化・積層技術
ナノ光学応用〔ほか〕


内容細目表：

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