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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

薄膜工学　第2版

著者名 金原粲／監修 吉田貞史／編著 近藤高志／編著
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6
請求記号 5498/00140/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0235833555一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

請求記号 5498/00140/
書名 薄膜工学　第2版
著者名 金原粲／監修 　 吉田貞史／編著 　 近藤高志／編著
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6
ページ数 295p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-621-08414-4
一般注記 初版:丸善 2003年刊
分類 5498
一般件名 薄膜
書誌種別 一般和書
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
タイトルコード 1001110029376



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