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書誌情報サマリ

書名

分光エリプソメトリー　第2版

著者名 藤原裕之／著
出版者 丸善出版
出版年月 2011.5
請求記号 433/00100/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0210748992一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 433/00100/
書名 分光エリプソメトリー　第2版
著者名 藤原裕之／著
出版者 丸善出版
出版年月 2011.5
ページ数 369p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-621-08322-2
分類 43357
一般件名 スペクトル分析 　 偏光
書誌種別 一般和書
内容注記 文献:章末
内容紹介 分光エリプソメトリーの基礎を、量子力学・電磁気学に関する記述や数式をできるだけ少なくして、わかりやすく解説する。説明を平易にし、解析例を追加した第2版。
タイトルコード 1001110015292

要旨 「第２版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。
目次 第１章　分光エリプソメトリーとは
第２章　光学の基礎
第３章　偏光
第４章　分光エリプソメトリーの原理
第５章　データ解析
第６章　光学異方性の評価
第７章　材料別解析例
第８章　分光エリプソメトリーによる実時間観測


内容細目表：

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