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一般和書
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書誌情報サマリ

書名

小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法　μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法

著者名 肥後矢吉／編著 谷川紘／共著 鈴木健一郎／共著
出版者 コロナ社
出版年月 2015.7
請求記号 5014/00144/

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 配架場所 別置 帯出 状態
1 鶴舞0236693479一般和書２階開架自然・工学在庫 

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書誌詳細

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請求記号 5014/00144/
書名 小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法　μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法
著者名 肥後矢吉／編著 　 谷川紘／共著 　 鈴木健一郎／共著
出版者 コロナ社
出版年月 2015.7
ページ数 8,196p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-339-04643-4
分類 5014
一般件名 ナノマテリアル 　 マイクロマシン
書誌種別 一般和書
内容紹介 肉眼では見にくい、あるいは見えないほど小さな、しかも動く機械をつくるために必要な設計から、材料、機能、寸法、組み立てまでの評価方法を解説する。
書誌・年譜・年表 文献:章末
タイトルコード 1001510026970

目次 １　シミュレーション
２　薄膜の弾性定数の精密計測法
３　微小材料や薄膜の材料強度評価法
４　３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
５　動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価
６　微細なものの接着・接合強度評価


内容細目表：

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